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SPMS V3 Series

Semiconductor Engineering & Software Solutions

SPMS V3 Series
(SESO Particle Monitoring System Version 3)
 
반도체, 제약회사, 바이오 분야 등 첨단 생산공정을 갖추고 있는 산업분야에서 제품 품질을 결정짓는 가장 큰 이슈는 미세먼지입니다.
이에 따라, 첨단 산업체에서는 제품생산을 위해서 클린룸(Clean Room) 시설을 갖추고 있습니다.
파티클 카운터는 클린룸의 환경 모니터링을 위한 필수 제품입니다. 클린룸 모니터링은 물론, 생산 장비 내부, 필터, Gas등
Particle에 취약한 부분의 오염 제어를 위한 첫 번째 감시 단계로서 반드시 사용되어야 합니다.
Particle Counter는 Serial 또는 Ethernet 통신을 사용하여 24시간 Particle Monitoring을 진행합니다.
메모리 내장형 센서로, 자체적으로 데이터를 저장하여 통신장애 발생시 데이터 손실을 방지합니다.
 
Model SPMS-V3
Size range 0.5 um(# or Class selectable)
Sensitivity 100 % for particles > 0.45 um(per ISO 21501-4 and JIS)
Zero count level <1 count / 5 minutes(<2 particles / ft³) (per ISO 21501-4 and JIS)
Flow rate 0.1 CFM(2.83 LPM)
± 5 % accuracy(ISO 21501-4 and JIS B9921)
Light source Laser Diode Class 1 per EN60825
Display LCD
Network interface Ethernet, Bluetooth, Serial(RS-485, 422), 4 - 20 mA
Calibration NIST traceable using SESO calibration system
Calibration interval One year or less(ISO 21801-4)
Data Storage 60 minutes
Power Power-over-Ethernet(PoE compliant with IEEE 802.3af), 24 VDC
Operating condition -10 ℃ to 60 ℃ / 20 % to 65 % (non-condensing)
Storage condition -10 ℃ to 75 ℃ / Up to 90 % (non-condensing)
Temperature & Humidity
(Optional)		 T : -40~120 ℃(±0.3 ℃)
H : 0~100 %(±2.0 %)
 
SPMS-V3