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Wafer Sensor Master

Precision Wireless Measurement Device

AVMD(Advanced Vibration Measurement Device)
 
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Wafer形 정밀 계측 센서인 Wafer Sensor Master는 반도체 장비 내부에서 Wafer이동 구간, Robot 및 Wafer process position에서
Vibration, Level, Gap을 실시간으로 측정하며, 이를 통하여 최적화된 Set-up을 지원하고, 정상적인 PM 및 BM의 진행 유무를 확인 및 검증할 수 있습니다.
 
AVMD는 Wafer形 정밀 진동 계측 센서로, 3축 가속도 센서를 통하여 반도체 장비 내부에서 Wafer가 받는 Stress를 진동 Data로 표현합니다.
실시간으로 측정되는 진동 Data를 통해서, 정상 유무를 판단할 수 있습니다.
(Wafer handling, Robot moving 진동 측정 및 Wafer process position에서의 진동 측정 가능)
AVMD는 3.5mm 이하의 두께로 제작되어 최신 반도체 장비 전 구간 Auto Process 및 Auto Transfer가 가능합니다.
AVMD는 실제 Wafer와 유사한150g의 무게로 제작되어 제품 사용 시 Robot arm의 처짐을 방지할 수 있습니다.
 
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Hardware Housing Size 300(±0.05)mm
Housing Material Carbon Fiber
Weight 150g
Thickness 3.5(+0.3/-0.2)mm
Operating Pressure <10e^-6 to 760Torr
Operating Temperature 20~60℃
Battery >3hours per charge
Vibration Sensor Measurement Units G, gal(Earth gravity units)
Range ±2G(Default)
Resolution ±0.01G
Data sampling 1ms(1000data per second)
Frequency FFT Analysis within 200Hz(Selectable 200Hz, 500Hz)
Software Type View: Real-Time Vibration, Frequency check, Auto
           mark function
Review : Replay Log File, Auto report function.
Operating System Windows 7, 8, 10
Others Wireless Link Module Bluetooth, Class1, 2.4GHz
Product Components AVMD Sensor, Charging case, Link module, USB cable Charging cable, Software, Carrying case
Calibration Manufacturer recalibration(annually)