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Wafer Sensor Master

Precision Wireless Measurement Device

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Wafer形 정밀 계측 센서인 Wafer Sensor Master는 반도체 장비 내부에서 Wafer이동 구간, Robot 및 Wafer process position에서
Vibration, Level, Gap을 실시간으로 측정하며, 이를 통하여 최적화된 Set-up을 지원하고,
정상적인 PM 및 BM의 진행 유무를 확인 및 검증할 수 있습니다.
 
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    AVMD
    Vibration
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    Level
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    Level & Vibration
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