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Wafer Sensor Master

Precision Wireless Measurement Device

AGMD(Advanced Gap Measurement Device)
 
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Wafer形 정밀 계측 센서인 Wafer Sensor Master는 반도체 장비 내부에서 Wafer이동 구간, Robot 및 Wafer process position에서
Vibration, Level, Gap을 실시간으로 측정하며, 이를 통하여 최적화된 Set-up을 지원하고,
정상적인 PM 및 BM의 진행 유무를 확인 및 검증할 수 있습니다.
 
AGMD는 Wafer形 정밀 Gap 계측 센서로, Eddy current 방식을 통하여 Chamber 내부에서 Pedestal(Heater)와
Shower head와의 간극을 측정합니다.
실시간으로 측정되는 Gap Data를 통해서, 공정위치인 Pedestal과 Shower Head 사이의 평행여부를 판단할 수 있습니다.
AGMD는 마찰에 의한 Scratch 및 Particle 발생 방지를 위해 고강도 처리한 외관을 가지고 있습니다.
AGMD는 13mm~20mm 범위 내에서 측정이 가능하며, 측정범위 내에서는 25um의 Accuracy를 제공합니다.
AGMD는 Eddy current방식으로 반영구적인 계측정확성을 가지므로,
수시로 Field Calibration을 진행하여야 하는 불편함이 없습니다.(Calibration jig 이용할 필요가 없음. )
 
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Hardware Housing Size 300(±0.05)mm
Housing Material Anodized Aluminum
Weight 630g(±5g)
Thickness 9.0(±0.2)mm
Operating Pressure <10e^-6 to 760Torr
Operating Temperature 20~70℃
Battery >4hours per charge
SENSOR Accuracy 0.025mm(25㎛) within 20mm
Resolution 0.001mm(1㎛)
Measurement Range 13~20mm
Measurement Units mm, mils
Software Type View :Gap check, Auto mark function, Offset function
Review : Replay Log File, Auto report function
Operating System Windows 7, 8, 10
Wireless Link Module Wireless Communication
Others Product Components AGMD Sensor, Charging case, Link module, USB cable
Charging cable, Software, Carrying case
Calibration Manufacturer recalibration(annually)