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Wafer Sensor Master

Precision Wireless Measurement Device

ALVMD(Advanced Leveling & Vibration Measurement Device)
 
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Wafer形 정밀 계측 센서인 Wafer Sensor Master는 반도체 장비 내부에서 Wafer이동 구간, Robot 및 Wafer process position에서
Vibration, Level, Gap을 실시간으로 측정하며, 이를 통하여 최적화된 Set-up을 지원하고, 정상적인 PM 및 BM의 진행 유무를 확인 및 검증할 수 있습니다.
 
ALVMD는 Wafer形 정밀 레벨 & 진동 계측 센서로서, 하나의 센서에서 레벨과 진동을 측정할 수 있습니다.
실시간으로 측정되는 진동 및 레벨 Data를 통해서, 정상 유무를 판단할 수 있습니다.
 
- ALVMD는 3.5mm 이하의 두께로 제작되어 최신 반도체 장비 전 구간 Auto Process 및 Auto Transfer가 가능합니다.
- ALVMD는 실제 Wafer와 유사한150g의 무게로 제작되어 제품 사용 시 Robot arm의 처짐을 방지할 수 있습니다.
- Wafer handling, Robot moving, Wafer Process position 및 반도체 장비 주요 구간에서 진동과 레벨 측정이 가능합니다.
 
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Hardware Housing Size 300(±0.05)mm
Housing Material Carbon Fiber
Weight 150g
Thickness 3.5(+0.3/-0.2)mm
Operating Pressure <10e^-6 to 760Torr
Operating Temperature 20~60℃
Battery >3hours per charge
Level SENSOR Accuracy Absolute X, Y ±0.03° within ±7°
Measurement Units degree,milliradian, mm/d, mm/r
Vibration Sensor Measurement Units G, gal(Earth gravity units)
Range ±2G(Default)
Resolution ±0.01G
Data sampling 1ms(1000data per second)
Frequency FFT Analysis within 200Hz(Selectable 200Hz, 500Hz)
Software Level Type View : Real-time Level check, Auto mark function
Review : Replay Log File , Auto report function
Vibration Type View: Real-Time Vibration, Frequency check, Auto
           mark function
Review: Replay Log File, Auto report function.
Operating System Windows 7, 8, 10
Others Wireless Link Module Bluetooth, Class1, 2.4GHz
Product Components ALVMD Sensor, Charging case, Link module, USB cable Charging cable, Software, Carrying case
Calibration Manufacturer recalibration(annually)